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微光電開關傳聲器在助聽、竊聽、超聲及高精度聲學測量中有獨特優勢，而且能方便地實現聲傳感器陳列，有廣闊應用前景。采用硅微加工制作微傳感器，能具有很好的重復性，既可實現批量生產，又能與IC集成形成微系統，使傳聲器向小型化、低成本和高性能方向發展。目前采用微機械加工制作的傳聲器可分為駐極體電容式、壓電具有頻響寬、靈敏度高、結構簡單等優點。 該會計怕器通過體硅和表面硅微機械加工工藝實現諸電振膜和背板一體化。首先在800度時以常壓化學氣相沉積法將150nm左右的SI3N4沉積在硅基SIO2薄膜上。再經各向異性腐蝕工藝，從基片的背面在設計的幾何尺寸范圍內腐蝕掉SI層，以形成振膜。 硅基壓電式微型傳聲器。該傳聲器是一種無氣隙損耗的單片式硅基一體化傳感器。 |
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